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热烈祝贺u乐国际电子20套集成电路装备乐成进入厦门大学产教融合平台
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产品形貌
参数
厦门大学国家集成电路产教融合立异平台
u乐国际电子集成电路产教融合成套装备含曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机共20台 ，助力厦门大学实现集成电路产教融合 ，作育高端集成电路工程人才。
ALD可替换双腔结构 ，匀气内腔 ，快速反应 ，反应温度500℃
PVD无压环入口靶腔 ，自动匹配
曝光机集成度高 ，365nmLED光源 ，1μm曝光精度 ，操作利便
ICP刻蚀机全自动样品传输系统 ，自动匹配
要害词:
曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机
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