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助力北大
助力北大
北京大学乐成制备性能优越的碳纳米管CMOS器件。我们提供了要害的HfO2高k栅介质低温制备计划
助力中科院上海技物所、武汉大学
助力中科院上海技物所、武汉大学
中国科学院上海手艺物理研究所、武汉大学研究职员在Advanced Functional Materials上揭晓的关于浮栅结构二维质料光电探测器研究方面取得的希望文章节选。我们研发的TALD-200A型原子层沉积系统在该器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的事情 ，乐成助力该光电探测器的研发事情。（文章内的光电探测器的具有很低的配景载流子强度）
助力复旦
助力复旦
复旦大学乐成研发天下首个半浮栅晶体管（SFGT） ，效果揭晓在《Science》 ，并有央视1套节目报道。我们提供了要害的栅隔离介质薄膜制备装备和工艺计划。
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