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u乐国际电子推出新一代ALD装备-固态源ALD
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u乐国际电子推出新一代ALD装备-固态源ALD

  • 分类:公司新闻
  • 宣布时间:2022-04-02
  • 会见量:0

【提要形貌】嘉兴u乐国际电子推出固态ALD装备 ,攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据批注 ,固态ALD装备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上体现优异。

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【提要形貌】嘉兴u乐国际电子推出固态ALD装备 ,攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据批注 ,固态ALD装备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上体现优异。

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  • 宣布时间:2022-04-02
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嘉兴u乐国际电子推出固态ALD装备 ,攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据批注 ,固态ALD装备在沉积IrFeCoNiCuRuLaSr等薄膜上体现优异。

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